Faserverstärkte Oxidkeramiken mit extrem schlechter Wärmeleitung (wie z.B. Al2O3) können hervorragend mit Terahertz-Prüftechnik auf unerwünschte Poren und Delaminationen geprüft werden. Im Vergleich zum Luftultraschall gibt es keine Probleme mit nicht prüfbaren Randbereichen. Da in Reflexion gearbeitet wird (FMCW-Radar) kann im Gegensatz zum Luftultraschall auch die Tiefenlage von Defekten problemlos bestimmt werden.